오버레이
Overlay
오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.
설명
각 층의 선폭이 정확해도 층끼리 중심이 맞지 않으면 연결 여유가 줄어든다. 보통 두 방향 성분과 기준 층의 순서를 함께 기록한다.
예시
콘택트 구멍과 아래 배선이 각각 제 크기여도 옆으로 어긋나면 연결이 나빠질 수 있다. 이때 선폭 측정만 늘려서는 위치 차이를 설명하기 어렵다.
구분
패턴의 크기인 와 층 사이 위치인 오버레이를 구분한다.