영상 정합
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영상 정합은 비교할 두 영상의 같은 구조가 같은 좌표에 오도록 위치 관계를 맞추는 작업이다.
설명
미세한 이동이나 회전이 남으면 정상 경계 주변에 큰 차이가 생긴다. 정합 오류와 실제 패턴 위치 이상을 구분해야 한다.
예시
모든 선의 한쪽에 비슷한 밝고 어두운 차이가 반복되면 정합 상태를 확인한다. 이 차이를 모두 개별 결함으로 세면 건수가 부풀 수 있다.
구분
영상 차이를 해석하기 전에 대응 위치가 맞는지 확인한다.