현상과 패턴 붕괴
Development and pattern collapse
현상은 용해성 차이로 레지스트를 선택적으로 제거하는 단계이며, 패턴 붕괴는 가는 구조가 세정·건조 등의 힘으로 쓰러지는 현상이다.
설명
현상액 전달·시간·온도는 잔류와 에, 구조 강도·표면장력·건조는 붕괴에 영향을 준다. 결손 패턴을 모두 노광 부족으로 해석하면 원인을 놓칠 수 있다.
예시
노광 전후·현상·건조 단계별 관측을 나누어 결함이 생기는 위치를 찾는다. 사진에서 비슷해 보이는 결함도 생성 단계가 다를 수 있다.
구분
패턴 결함은 빛의 문제와 액체·기계적 문제를 분리해 본다.