백사이드 가스
Backside heat-transfer gas
백사이드 헬륨
백사이드 가스는 웨이퍼와 척 사이의 미세 틈에서 열전달을 돕는 가스로, 헬륨 등이 사용된다.
설명
진공에서는 틈을 통한 열전달이 제한된다. 가스 압력과 틈의 형상·표면 접촉이 바뀌면 같은 척 온도에서도 웨이퍼의 열이 빠지는 정도가 달라진다.
예시
압력을 높이는 효과는 구조와 영역에 따라 달라지며 흡착·밀봉 한계도 있다. 임의 압력 상향이 아니라 승인된 열·누설 특성으로 판단한다.
구분
백사이드 압력은 웨이퍼 온도를 직접 읽는 값이 아니라 열전달의 입력이다.