회절 기반 오버레이

Diffraction-based overlay

DBO

팩별 설명

기반 는 겹친 주기 패턴의 회절 신호 변화를 모델이나 관계로 해석해 상대 위치를 구하는 방식이다.

회절

회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.

오버레이

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.

교정

교정은 정해진 조건에서 표준이 제공하는 값과 측정계의 지시 사이의 관계를 불확도와 함께 확립하는 작업이다.

설명

응답에는 외에도 형상과 재료 특성이 영향을 준다. 특정 방식의 타깃과 분석 규칙에 맞춘 측정이 필요하다.

회절

회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.

오버레이

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.

같은 위치 차이라도 타깃의 위아래 층 형상이 다르면 신호가 달라질 수 있다. 기반이라는 이유만으로 타깃 편향이 사라지는 것은 아니다.

회절

회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.

DBO는 신호를 해석한 위치 차이이며 모델 조건을 확인해야 한다.

회절

회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.

회절은 파동이 구조를 지나거나 반사될 때 퍼지고 간섭하여 방향별 세기가 달라지는 현상이다.

교정은 정해진 조건에서 표준이 제공하는 값과 측정계의 지시 사이의 관계를 불확도와 함께 확립하는 작업이다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.