건조와 모세관 힘
Drying and capillary force
모세관 힘
모세관 힘은 액체의 표면장력과 계면 형상으로 생기는 힘이며, 미세 패턴 건조 중 변형을 일으킬 수 있다.
설명
서로 가까운 높은 구조 사이의 액체가 사라질 때 구조가 서로 끌려 붙을 수 있다. 오염 제거에 성공해도 건조 단계에서 결함이 생긴다.
예시
세정 전후 입자는 감소했는데 패턴이 짝지어 붙었다면 단순 입자 오염보다 건조 관련 붕괴를 우선 비교한다.
구분
세정과 건조를 분리된 합격 항목이 아니라 연속된 공정으로 평가한다.