유효 배기속도
Effective pumping speed
유효 배기속도는 챔버 접속 위치에서 실제로 가스를 제거하는 체적 속도다.
설명
펌프 입구의 배기속도와 달리 중간 배관·밸브·트랩의 저항이 반영된다. 정상 펌프라도 긴 배관이나 좁아진 통로를 지나면 챔버에서의 성능은 낮아진다.
예시
펌프 사양이 500 L/s라는 이유만으로 챔버에서도 500 L/s를 확보했다고 볼 수 없다. 어떤 가스·압력·연결 구성에서 제시한 수치인지 확인한다.
구분
장비 결과를 설명할 때는 명판 성능이 아니라 연결된 시스템의 성능을 사용한다.