가스 처리량
Gas throughput
가스 처리량 Q는 일정 기준에서 압력과 체적유량의 곱으로 표현하는 가스 이동량이다.
설명
진공계에서 Q의 단위를 Pa·m³/s 또는 mbar·L/s로 쓰면 압력 P와 배기속도 S의 관계 Q=P×S를 같은 측정 위치에서 다룰 수 있다. 표준상태 유량과 실제 챔버 체적유량은 그대로 같지 않다.
예시
정상상태에서 총 가스 부하가 2 Pa·m³/s, 챔버 압력이 10 Pa라면 필요한 는 0.2 m³/s다. 누설·탈가스 등 다른 부하가 있으면 총부하에 포함한다.
구분
유량 숫자를 계산에 넣기 전에 단위·기준 상태·측정 위치를 맞춘다.