정전척
Electrostatic chuck
ESC
정전척은 전기적 인력으로 웨이퍼를 지지면에 붙잡아 위치와 열적 접촉을 유지하는 장치다.
설명
전극·유전체·웨이퍼의 전기적 경로와 표면 상태가 흡착에 영향을 준다. 흡착이 약해지면 기계적 안정성뿐 아니라 밀봉과 열전달도 변할 수 있다.
예시
흡착 전압이 동일해도 재료·온도·오염·접촉 면적이 달라지면 결과가 같지 않다. 장비 승인 범위를 벗어난 전압 보정으로 접촉 문제를 가리지 않는다.
구분
정전척은 고정부품이면서 공정 온도를 만드는 경계조건이다.