마진·여유

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

관측값들을 모두 더해 데이터 개수로 나눈 산술평균으로, 공정 데이터의 중심 위치를 요약하는 가장 기본적인 통계량.

공정이나 제품이 가능한 한 맞추도록 설정한 중심 또는 원하는 엔지니어링 value.

데이터가 어떤 값 주변에 얼마나 자주 나타나고 얼마나 퍼져 있는지를 전체적으로 나타내는 형태.

제품이나 공정 결과가 반드시 만족해야 하는 허용 요구조건이나 한계. 측정값을 USL/LSL 같은 규격 한계와 비교해 합격 여부를 판단한다.

측정 오차, 테스트 조건 차이, 수명/온도 변동 등을 고려해 실제 제품 한계보다 보수적인 테스트 판정 기준값이나 마진을 두는 방식.

공정 평균이 USL과 LSL 중 가까운 규격 한계까지 얼마나 여유가 있는지를 변동과 함께 반영하는 공정능력 지수.