목표값

증착·산화 등으로 형성된 박막이 웨이퍼 위에서 얼마나 두꺼운지를 나타내는 핵심 측정값.

관측값들을 모두 더해 데이터 개수로 나눈 산술평균으로, 공정 데이터의 중심 위치를 요약하는 가장 기본적인 통계량.

제품이나 공정 결과가 반드시 만족해야 하는 허용 요구조건이나 한계. 측정값을 USL/LSL 같은 규격 한계와 비교해 합격 여부를 판단한다.

현재 성능이나 공정값이 고장 한계, 규격 한계, 타이밍/전력 한계 등 위험 경계까지 얼마나 여유를 갖는지를 나타내는 엔지니어링 개념.

공정 평균이 USL과 LSL 중 가까운 규격 한계까지 얼마나 여유가 있는지를 변동과 함께 반영하는 공정능력 지수.