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EWMA

Exponentially weighted moving average

팩별 설명

EWMA는 최근 관측과 이전 추정값을 가중 결합해 상태를 갱신하는 지수 가중 이동평균이다.

설명

단순 식은 새 추정=λ×현재 관측+(1−λ)×이전 추정이며 0<λ≤1이다. λ가 크면 새 변화에 빨리 반응하지만 측정 잡음에도 민감해진다.

가상 편차 추정이 2 nm, 새 관측이 7 nm, λ=0.2이면 새 추정은 3 nm다. 이 값은 추정값이며 실제 장비 입력으로 바꾸려면 모델 이득·한계가 더 필요하다.

필터의 빠르기와 잡음 는 함께 바뀐다.

민감도

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

압력 상승률은 배기를 분리한 계에서 단위 시간당 압력이 증가하는 정도다.

고종횡비 피복은 깊고 좁은 구조의 입구부터 내부까지 막을 형성하는 성능이다.