계측 지연
Metrology delay
계측 지연은 공정 실행과 해당 결과가 제어기에 사용되기까지의 시간 또는 실행 수 차이다.
설명
여러 로트가 처리된 뒤 오래된 결과를 현재 상태처럼 보정하면 이미 바뀐 상태에 뒤늦은 조정이 더해질 수 있다. 결과가 어떤 실행·레시피·챔버에 속하는지 연결해야 한다.
예시
정비 이전 결과가 정비 이후에 도착했을 때 새 상태에 바로 반영하지 않는다. 유효 시점과 상태 전환을 관리하는 정책이 필요하다.
구분
제어 데이터의 신선도는 수집 시각보다 어느 공정 상태를 반영하는지가 중요하다.