팹 유틸리티
Fab Utility
Utility
공정장비가 동작하도록 전력, 물, 가스, , 배기·냉각 등을 공급하고 회수하는 팹 기반 설비 계통.
대기압보다 낮은 압력 상태. 증착·식각·이온주입 등 많은 반도체 장비에서 공정 환경을 만들거나 물질 이동을 제어하는 데 사용된다.
용어 상세 ↗설명
생산장비만 보는 것이 아니라 세정 서브팹과 팹 유틸리티 수준이 공정 안정성을 지탱한다는 구조를 이해한다.
예시
장비에는 전력·냉각수·가스가 공급되고, 배기와 폐수 같은 회수 계통도 연결된다.
관련 용어: / /
반도체 세정·린스에 사용하도록 이온·유기물·입자 등 불순물을 매우 낮게 관리한 고순도 물.
용어 상세 ↗수분과 오염을 낮게 관리한 압축 공기 계열 팹 유틸리티로, 반도체 설비에서 건조·구동·세정 보조 등 다양한 용도로 사용될 수 있다.
용어 상세 ↗대기압보다 낮은 압력 상태. 증착·식각·이온주입 등 많은 반도체 장비에서 공정 환경을 만들거나 물질 이동을 제어하는 데 사용된다.
용어 상세 ↗구분
팹 유틸리티는 생산장비 자체가 아니라 장비에 필요한 기반 공급·지원 시스템이다.