초순수
Ultrapure Water
UPW
세정·린스에 사용하도록 이온·유기물· 등 불순물을 매우 낮게 관리한 고순도 물.
설명
미세공정에서는 물 자체의 도 원인이 될 수 있어 UPW 품질 관리가 중요하다.
예시
뒤 를 헹구거나 다양한 세정 단계에서 UPW를 사용한다. 관련 용어: / /
구분
UPW는 단순 수돗물이나 일반 정제수가 아니라 공정에 쓰는 매우 높은 순도의 물을 뜻한다.
Ultrapure Water
UPW
세정·린스에 사용하도록 이온·유기물· 등 불순물을 매우 낮게 관리한 고순도 물.
미세공정에서는 물 자체의 도 원인이 될 수 있어 UPW 품질 관리가 중요하다.
뒤 를 헹구거나 다양한 세정 단계에서 UPW를 사용한다. 관련 용어: / /
UPW는 단순 수돗물이나 일반 정제수가 아니라 공정에 쓰는 매우 높은 순도의 물을 뜻한다.