고장 검출·분류
Fault detection and classification
FDC
고장 검출·분류인 FDC는 장비 신호와 공정 이력을 분석하여 이상을 찾고 유형을 구분하는 접근이다.
설명
센서·시점·레시피 구간별로 정상 패턴이 다를 수 있다. 경보는 가설을 제공하며 자동으로 원인을 입증하지 않는다.
예시
정상 구간 평균은 같아도 전환 순간의 압력 지연이 늘면 구간별 신호를 확인한다.
구분
평균 센서값만이 아니라 시간 파형과 이벤트를 연결한다.