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정밀 식각의 생산성

Precision-etch productivity

정밀 식각의 생산성은 요구 형상·손상·선택성을 만족하며 얻는 유효 처리량이다.

설명

짧은 사이클은 처리량을 높일 수 있지만 포화나 퍼지가 부족하면 불량이 증가한다. 장비 시간만 줄이는 최적화는 재작업·폐기까지 고려하면 불리할 수 있다.

사이클 시간을 줄였을 때 평균 만 아니라 위치별 잔류와 결함을 비교한다.

EPC

사이클당 식각량인 EPC는 정한 조건에서 한 ALE 사이클에 제거되는 평균 두께다.

유효 을 포함해 정밀도와 처리량의 교환관계를 판단한다.

수율

수율은 정한 생산·시험 단계에서 전체 대상 중 요구 조건을 만족한 대상의 비율이다.

사이클당 식각량인 EPC는 정한 조건에서 한 ALE 사이클에 제거되는 평균 두께다.

수율은 정한 생산·시험 단계에서 전체 대상 중 요구 조건을 만족한 대상의 비율이다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.