포물선 성장 구간
Parabolic oxidation regime
포물선 성장 구간은 산화제의 막 내부 이동이 중요해져 산화막 두께의 제곱이 시간에 거의 비례하는 근사 구간이다.
설명
두꺼운 막에서 초기막 영향을 무시하면 x는 시간의 제곱근에 비례한다. 같은 양을 더 성장시키는 데 점점 더 긴 시간이 필요하다.
예시
가상 확산 지배 조건에서 시간을 네 배로 늘리면 두께는 약 두 배다. 초기막·계수·분위기가 같고 근사가 성립할 때만 유효하다.
구분
시간 배율과 두께 배율을 동일시하지 않는다.