FIB
Focused ion beam
FIB는 집속한 이온빔으로 시료의 특정 위치를 가공하거나 관찰하는 기술이다.
설명
관심 위치의 단면을 만들거나 투과전자현미경용 얇은 시료를 준비하는 데 활용한다. 가공은 원래 구조를 제거하고 손상층이나 재증착을 만들 수 있다.
예시
결함 한가운데를 잘랐는지 위치 기록이 중요하다. 엉뚱한 단면이 정상이어도 원래 결함을 부정할 수 없고 가공 흔적을 공정 결함으로 오해해서도 안 된다.
구분
FIB 단면은 위치 선택과 가공 영향까지 포함해 해석한다.