임계치수
Critical dimension
CD
임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.
설명
모든 길이가 같은 중요도를 갖는 것은 아니다. 선의 폭과 인접 선 사이의 간격은 서로 다른 양이므로 측정 이름과 경계를 분명히 해야 한다.
예시
구멍 지름을 관리할 때 상부 입구와 하부 바닥의 지름이 다를 수 있다. 'CD 정상'이라는 말에는 어느 위치의 어떤 치수인지가 필요하다.
구분
CD는 중요 치수의 이름이지 모든 형상을 대신하는 한 숫자가 아니다.