결함 검사
Defect inspection
결함 검사는 표면이나 패턴에서 기준과 다른 이상 후보를 찾아 위치와 특성을 기록하는 활동이다.
설명
넓은 영역을 살펴 이상 신호를 선별하는 것이 핵심이다. 검출된 후보에는 실제 결함뿐 아니라 정상 패턴의 차이나 잡음도 포함될 수 있다.
예시
검출 건수가 늘었다면 공정 오염뿐 아니라 검사 감도와 비교 기준이 달라졌는지도 확인한다. 검사 건수만으로 전기적 불량 수를 확정하지 않는다.
구분
검사는 이상 후보를 찾는 단계이며 원인과 영향은 추가 증거로 판단한다.