화면을 준비하고 있습니다.

포어라인

Foreline

포어라인은 고진공 펌프의 배출 측과 사이를 연결하는 배관이다.

백킹 펌프

백킹 펌프는 고진공 펌프의 배출 측을 배기하는 펌프다.

설명

후단 압력을 적정하게 유지해야 앞단 펌프가 제 성능을 낸다. 배관의 부산물 축적이나 후단 처리계의 저항도 압력에 영향을 줄 수 있다.

챔버 문제를 조사할 때 앞단 펌프 화면뿐 아니라 포어라인 압력과 후단 장치 상태를 함께 대조한다. 여러 장비가 같은 후단 문제를 공유하는지도 본다.

배기 흐름은 챔버에서 끝나지 않고 후단 처리계까지 이어진다.

백킹 펌프는 고진공 펌프의 배출 측을 배기하는 펌프다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.