포어라인과 배압
Foreline and backing pressure
포어라인배압
포어라인은 고진공 펌프의 배출을 백킹 펌프 쪽으로 연결하는 경로이며, 배압은 그 배출 측 압력이다.
설명
터보분자펌프의 성능은 전단 챔버뿐 아니라 배출 측 조건에도 영향을 받는다. 백킹 펌프 저하나 배출 경로 제한은 고진공 펌프가 정상 회전해도 문제를 만들 수 있다.
예시
챔버 압력 악화와 포어라인 압력 상승이 함께 보이면 배출 측 영향도 조사한다. 실제 허용 배압은 펌프·가스별 사양이며 임의로 상향하지 않는다.
구분
펌프 회전수 정상은 전체 배기계 정상의 증거가 아니다.