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펌프다운 시간상수

Pump-down time constant

펌프다운 시간상수는 단순 배기 모델에서 압력 변화의 빠르기를 나타내는 V/Seff 값이다.

설명

체적 V와 Seff가 일정하고 유입 부하를 무시하면 P(t)=P0×exp(−Seff×t/V)다. 압력이 한 번에 0이 되는 것이 아니라 일정 비율씩 감소한다.

V=100 L, Seff=50 L/s면 시간상수는 2 s다. 압력 10분의 1까지는 약 4.6 s지만 실제 장비에서는 배기속도 변화·탈가스·밸브 순서 때문에 더 걸릴 수 있다.

이상 모델은 비교 기준이며 전체 실장비 배기시간의 보증값이 아니다.

핵심 품질 특성은 제품 기능이나 후속 공정에 중요한 결과 변수다.

핵심 공정 변수는 변동이 품질 특성에 유의한 영향을 줄 수 있어 관리하는 공정 입력이나 상태 변수다.

관측 가능성은 확보한 신호로 알고 싶은 내부 상태를 구분해 추정할 수 있는 정도다.