결정방향
Crystal Orientation
단결정 내부 원자 배열의 기준 방향. 웨이퍼의 노치나 플랫은 제조·장비에서 이 방향을 식별하는 기준으로 쓰인다.
설명
결정방향은 단순한 의 회전 위치가 아니라 결정 구조의 방향을 뜻한다.
예시
동일한 결정방향의 를 공정 장비에 일관되게 정렬해 사용한다. 관련 용어: / / 웨이퍼
구분
방향은 결정학적 방향이고 는 그 방향을 식별하는 물리적 표식이다.
Crystal Orientation
단결정 내부 원자 배열의 기준 방향. 웨이퍼의 노치나 플랫은 제조·장비에서 이 방향을 식별하는 기준으로 쓰인다.
결정방향은 단순한 의 회전 위치가 아니라 결정 구조의 방향을 뜻한다.
동일한 결정방향의 를 공정 장비에 일관되게 정렬해 사용한다. 관련 용어: / / 웨이퍼
방향은 결정학적 방향이고 는 그 방향을 식별하는 물리적 표식이다.