에피 웨이퍼
Epitaxial wafer
에피 는 단결정 기판 위에 그 결정 배열을 이어받은 반도체층을 성장시킨 웨이퍼이다.
설명
표면층의 두께와 농도를 기판과 다르게 설계할 수 있다. 기판이 기계적 지지를 제공하고 위쪽 층이 원하는 소자 특성에 맞는 재료 영역을 제공한다.
예시
기판 전체의 을 바꾸는 것과 표면에 별도 농도의 에피층을 만드는 것은 다르다. 에피층의 결함이나 경계면 오염도 실제 소자 특성에 영향을 줄 수 있다.
구분
에피 에서는 기판 사양과 성장층 사양을 함께 읽는다.