파티클
Particle
입자 오염
파티클은 위에 붙거나 공정 중 발생하는 작은 고체 입자이다.
설명
입자가 빛을 가리거나 중 임시 마스크처럼 작용하면 원래 없던 패턴이 남을 수 있다. 막 아래 묻히면 작은 입자도 이후에는 제거하기 어려워진다.
예시
입자 수가 같아도 크기 분포와 위치가 달라지면 영향은 다르다. 세정 전후의 동일 검사 조건과 지도상 위치를 비교해야 실제 제거 효과를 읽을 수 있다.
구분
파티클은 개수·크기·위치와 묻히기 전의 제거 시점을 함께 본다.