금속 오염
Metal contamination
금속 오염은 원래 의도한 재료가 아닌 금속 원소가 기판이나 표면에 들어온 상태이다.
설명
미량의 금속도 위치와 종류에 따라 누설이나 전하의 재결합에 영향을 줄 수 있다. 공정에 필요한 금속막과 원하지 않는 금속 불순물은 같은 말이 아니다.
예시
금속배선을 다루는 공정과 민감한 소자 표면을 다루는 공정의 재료·장비 경계를 관리하는 이유이다. 눈에 보이는 입자가 없다는 것만으로 금속 오염이 없다고 판단하지 않는다.
구분
오염 관리는 양뿐 아니라 원소의 종류와 허용되는 위치를 구분한다.