산화
Thermal Oxidation
Oxidation
표면에 산소 또는 수증기와 반응시켜 이산화실리콘(SiO₂) 을 형성하는 공정.
설명
은 절연과 표면 보호 역할을 하며 이후 ··소자 형성과 연결된다.
예시
를 산화 환경에 노출해 표면에 균일한 SiO₂ 층을 성장시킨다. 관련 용어: /
구분
산화는 기존 을 반응시켜 을 성장시키는 과정이고 은 외부 물질을 표면에 쌓는 과정이다.
Thermal Oxidation
Oxidation
표면에 산소 또는 수증기와 반응시켜 이산화실리콘(SiO₂) 을 형성하는 공정.
은 절연과 표면 보호 역할을 하며 이후 ··소자 형성과 연결된다.
를 산화 환경에 노출해 표면에 균일한 SiO₂ 층을 성장시킨다. 관련 용어: /
산화는 기존 을 반응시켜 을 성장시키는 과정이고 은 외부 물질을 표면에 쌓는 과정이다.