건식 산화
Dry oxidation
건식 산화는 주로 산소를 산화제로 사용하는 방식이다.
설명
같은 온도의 일반적인 조건에서는 수증기를 쓰는 보다 성장 속도가 느린 편이다. 얇은 막의 성장 제어와 필요한 계면 품질을 고려해 선택한다.
예시
건식이라는 말은 액체에 담그지 않는다는 구분만이 아니라 산화성 분위기를 가리킨다. 모든 제품의 게이트 절연막을 이 방식 하나로 만든다는 뜻은 아니다.
구분
산화 방식은 속도와 목표 두께·계면 조건을 함께 보고 고른다.