습식 산화
Wet oxidation
습식 산화는 수증기를 산화제로 사용하는 방식이다.
설명
수증기가 참여하는 반응은 일반적으로 산소만 사용하는 경우보다 빠르게 두꺼운 산화막을 성장시키는 데 유리하다. 원하는 막의 역할에 따라 품질 요구도 달라진다.
예시
두꺼운 절연막을 빠르게 형성하는 목표와 매우 얇은 계면을 정밀하게 제어하는 목표는 같지 않다. 성장 속도만 보고 한 방식이 항상 우수하다고 판단하지 않는다.
구분
습식 산화의 속도 이점은 필요한 막 특성과 함께 평가한다.