도펀트 확산
Dopant diffusion
도펀트 확산은 열운동에 의해 도펀트 원자가 반도체 안에서 이동하여 농도 분포가 변하는 현상이다.
설명
단순한 조건에서는 농도가 높은 쪽에서 낮은 쪽으로 순이동한다. 실제 이동 정도는 원소 종류, 온도, 결함 상태 등에도 영향을 받는다.
예시
도펀트를 넣은 뒤의 열처리는 전기적 에 도움을 주면서 분포를 넓힐 수 있다. 원하는 위치에 넣는 일과 이후 그 위치를 유지하는 일을 함께 설계한다.
구분
확산은 농도뿐 아니라 소자 경계의 위치를 바꾸는 현상이다.