도펀트 활성화
Dopant activation
활성화
도펀트 활성화는 넣은 도펀트가 전하 운반자를 제공할 수 있는 전기적으로 유효한 상태가 되는 과정이다.
설명
실리콘에서는 도펀트가 적절한 격자 자리에 들어가는 것이 중요하다. 전체 원자 농도와 실제로 전류를 운반하게 하는 유효 농도가 항상 같지는 않다.
예시
원자 분포를 확인하는 분석과 전기적 저항을 확인하는 측정은 서로 다른 정보를 준다. 원자가 충분히 있다는 결과만으로 활성화가 충분하다고 판정하지 않는다.
구분
화학적으로 존재하는 양과 전기적으로 작동하는 양을 구분한다.