증착률
Deposition rate
증착률은 단위시간에 형성되는 막 두께의 증가량이다.
설명
일정한 속도로 성장하는 구간에서는 두께를 증착률과 시간의 곱으로 어림할 수 있다. 초기 반응 지연이나 원료 부족이 있으면 이 단순 관계가 맞지 않을 수 있다.
예시
안정 구간의 증착률이 분당 20 nm이고 3분간 유지되었다면 증가 두께는 60 nm이다. 이 값은 교육용이며 실제 장비의 가열·안정화 시간까지 모두 증착시간으로 세지 않는다.
구분
증착률 계산에는 실제 성장한 구간과 일정 속도라는 가정을 명시한다.