막 두께 균일도
Film thickness uniformity
막 두께 균일도는 의 위치나 웨이퍼 사이에서 두께가 얼마나 일정한지를 나타내는 특성이다.
설명
평균 두께가 목표여도 중심은 두껍고 가장자리는 얇을 수 있다. 균일도는 측정 위치와 계산 정의에 따라 숫자가 달라지므로 조건을 맞춰 비교한다.
예시
두 의 평균이 모두 100 nm여도 한쪽의 측정값이 99~101 nm이고 다른 쪽이 90~110 nm라면 분포는 다르다. 평균만으로 두 막의 품질을 같다고 판정하지 않는다.
구분
평균은 목표 위치를, 분포는 공간적 차이를 보여준다.