단차 피복성
Step coverage
단차 피복성은 평탄면과 비교하여 측벽·바닥 등 단차 부위에 막이 얼마나 형성되는지를 나타내는 성질이다.
설명
바닥 두께를 평탄면 두께로 나눈 비율처럼 정의할 수 있지만 측정 위치와 기준을 명시해야 한다. 피복성과 웨이퍼 전체 균일도는 다르다.
예시
평탄면 20 nm, 바닥 12 nm인 가상 구조의 바닥 피복률은 60%다. 다른 위치의 수치를 섞어 계산하지 않는다.
구분
두께 분포를 구조 내부와 웨이퍼 전체로 나누어 본다.