표면 반응 지배
Surface-reaction-limited growth
표면 반응 지배는 원료가 충분히 도달해도 표면에서 고체로 바뀌는 반응이 전체 성장 속도를 제한하는 상태이다.
설명
이 구간에서는 온도 변화가 성장률에 크게 영향을 줄 수 있다. 가스를 더 공급하는 조정만으로 성장률이 크게 늘지 않을 수도 있다.
예시
공급량을 늘렸는데 두께 변화는 작고 온도 차이에 두께가 민감하다면 반응 속도를 원인 후보로 본다. 실제 판정에는 다른 조건을 일정하게 한 비교가 필요하다.
구분
성장이 느릴 때 원료 부족과 반응 부족을 구분한다.