선택적 에피택시
Selective epitaxy
선택적 에피택시는 특정 노출 표면에서는 결정을 성장시키고 다른 표면에서는 성장을 억제하는 기술이다.
설명
예를 들어 노출된 반도체 영역에 자라게 하면서 주변 절연막 위의 불필요한 성장을 줄인다. 표면 종류별 과 반응의 차이를 이용한다.
예시
선택성이 있다는 말이 원치 않는 위치에 원자가 전혀 붙지 않는다는 보장은 아니다. 미세한 불필요 성장과 패턴 주변의 형상 차이를 함께 확인한다.
구분
선택적 성장은 원하는 곳의 성장과 원치 않는 곳의 억제를 동시에 평가한다.