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에피택시

Epitaxy

에피 성장

팩별 설명

에피택시는 기판의 결정 배열을 따라 결정성 을 성장시키는 기술이다.

박막

박막은 기판이나 기존 구조 위에 얇게 형성하여 특정 기능을 부여하는 재료층이다.

설명

단순히 같은 재료를 쌓는 것보다 표면 청정도와 결정의 연결이 중요하다. 실리콘 위에 실리콘을 자라게 하거나 다른 조성의 반도체층을 성장시키는 등 여러 조합이 있다.

농도와 조성이 다른 층을 만들면 전기적 성질이나 에 가해지는 변형을 설계할 수 있다. 두께가 맞더라도 결정 결함과 계면 상태는 따로 확인한다.

도핑

도핑은 반도체에 특정 불순물 원자를 넣어 전하 운반자의 종류와 농도 등 전기적 성질을 조절하는 일이다.

채널

채널은 MOSFET에서 게이트의 제어를 받아 소스와 드레인 사이의 전류가 흐르는 반도체 영역이다.

에피택시는 막의 양뿐 아니라 결정 배열을 이어 만드는 공정이다.

박막은 기판이나 기존 구조 위에 얇게 형성하여 특정 기능을 부여하는 재료층이다.

도핑은 반도체에 특정 불순물 원자를 넣어 전하 운반자의 종류와 농도 등 전기적 성질을 조절하는 일이다.

채널은 MOSFET에서 게이트의 제어를 받아 소스와 드레인 사이의 전류가 흐르는 반도체 영역이다.