ALD 반주기
ALD half-cycle
반주기는 전체 성장 사이클을 이루는 개별 원료 공급과 표면 반응 단계이다.
설명
한 가 표면과 반응하고 남은 기체를 비운 뒤 다른 반응물을 공급해 다음 반응을 진행한다. 서로 다른 기체가 표면에서 순차적으로 역할을 나눈다.
예시
두 원료를 계속 함께 흘려 반응시키는 일반적인 운용과 구별된다. 다만 모든 재료가 같은 두 원료나 같은 반응 수를 쓰는 것은 아니다.
구분
의 반복을 이해하려면 각 단계가 표면을 어떻게 바꾸는지 본다.