퍼지
Purge
퍼지는 반응 사이에 남은 ·부산물 등을 챔버에서 제거하는 과정이다.
설명
에서는 앞 기체와 다음 기체가 원치 않게 겹쳐 반응하는 것을 줄인다. 깊은 구조에서는 내부에 머무는 기체까지 배출되어야 하므로 평판과 필요한 조건이 다를 수 있다.
예시
퍼지를 지나치게 줄이면 반응 분리가 나빠질 수 있고 길게 하면 처리시간이 늘어난다. 실제로 충분히 분리되면서 생산성도 확보되는 조건을 확인한다.
구분
퍼지는 단순 대기시간이 아니라 순차 반응을 유지하는 기능이다.