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퍼지

Purge

팩별 설명

퍼지는 남은 원료와 부산물을 공간이나 공급 경로에서 제거하도록 기체 흐름 등을 이용하는 단계입니다.

설명

에서는 다음 반응 전 이전 성분을 줄여 의도하지 않은 기상 반응을 억제하는 역할을 합니다. 막을 일부러 벗기는 단계와 다릅니다.

ALD

원자층 증착은 서로 분리한 표면 반응을 반복하여 얇은 막을 성장시키는 증착 방법입니다.

퍼지가 충분하지 않으면 원료들이 의도하지 않은 곳에서 만나 반응할 가능성이 커집니다.

퍼지는 비어 있는 대기 시간이 아니라 반응을 분리하는 기능입니다.

원자층 증착은 서로 분리한 표면 반응을 반복하여 얇은 막을 성장시키는 증착 방법입니다.

기판은 소자나 막을 형성할 때 그 구조를 받치고 형성의 바탕이 되는 재료입니다.

유전율은 전기장에 대해 재료 내부의 전하 분포가 반응하는 정도를 나타내는 물성입니다.