자기제한 반응
Self-limiting reaction
자기제한 반응은 이용 가능한 표면 반응 자리가 채워지면 해당 조건에서 추가 반응이 크게 늘지 않는 반응입니다.
설명
표면 포화가 충분히 이뤄져야 의 장점을 기대할 수 있습니다. 더 오래 공급할수록 두께가 무한히 비례해 증가하는 방식과 다릅니다.
예시
깊은 구조의 안쪽이 충분히 노출되지 않았다면 위쪽 표면만 포화되고 아래는 부족할 수 있습니다.
구분
포화라는 개념은 실제로 도달한 표면 범위와 함께 봅니다.