사이클당 성장량
Growth per cycle
GPC
사이클당 성장량은 한 사이클을 반복할 때 평균적으로 증가하는 막 두께이다.
설명
안정된 성장 구간에서는 이 값과 사이클 수로 두께를 어림한다. 초기 표면에서는 지연 때문에 같은 증가량이 바로 나타나지 않을 수 있다.
예시
안정 구간에서 사이클당 0.1 nm씩 자란다는 가정이면 80사이클은 8 nm 증가에 해당한다. 이 값은 특정 물질의 사양이 아니며 실제 초기막과 성장 조건을 별도로 확인한다.
구분
사이클 수 계산에는 성장량의 단위와 안정 구간이라는 조건이 필요하다.