플라즈마 ALD
Plasma-enhanced ALD
PEALD
는 ALD의 일부 반응 단계에서 플라즈마로 한 반응종을 이용하는 방식이다.
설명
열만으로는 어려운 반응을 돕거나 낮은 기판 온도를 활용할 수 있다. 반응종의 수명과 구조 내부 도달, 전하·이온에 의한 영향도 함께 고려한다.
예시
를 사용한다고 모든 막이 더 좋거나 모든 깊은 구조에 더 적합한 것은 아니다. 목표 재료의 막질과 손상, 피복성에 맞춰 열 와 비교한다.
구분
방식의 장점과 해당 구조가 받는 영향을 함께 판단한다.