노광량
Exposure dose
노광량은 에 전달되는 빛의 에너지를 단위 면적당 나타낸 양이다.
설명
레지스트의 반응 정도와 후 치수에 영향을 준다. 실제 치수 변화 방향은 레지스트 방식과 선·구멍 패턴 등에 따라 달라지므로 많이 쏘면 항상 선이 넓어진다고 외우지 않는다.
예시
전체 선폭이 달라졌다면 노광량을 확인할 수 있지만 두께나 조건의 변화도 살펴야 한다. 최종 선폭은 여러 단계의 결과이다.
구분
노광량은 화학반응을 조절하는 입력이며 치수 변화는 패턴 조건과 함께 해석한다.