초점
Focus
초점은 광학계의 상이 에 맺히는 높이 관계이다.
설명
높이가 적정 범위에서 벗어나면 패턴 경계가 흐려지거나 형상이 변한다. 표면 단차·웨이퍼 휨·뒷면 이물 등도 국부 초점에 영향을 줄 수 있다.
예시
은 전달 에너지, 초점은 상이 맺히는 위치이다. 흐릿한 상을 단순히 더 많은 에너지로 선명하게 만들 수 있다고 보지 않는다.
구분
과 초점을 별도 변수로 구분한 뒤 함께 허용되는 범위를 찾는다.
Focus
초점은 광학계의 상이 에 맺히는 높이 관계이다.
높이가 적정 범위에서 벗어나면 패턴 경계가 흐려지거나 형상이 변한다. 표면 단차·웨이퍼 휨·뒷면 이물 등도 국부 초점에 영향을 줄 수 있다.
은 전달 에너지, 초점은 상이 맺히는 위치이다. 흐릿한 상을 단순히 더 많은 에너지로 선명하게 만들 수 있다고 보지 않는다.
과 초점을 별도 변수로 구분한 뒤 함께 허용되는 범위를 찾는다.