해상도
Resolution
해상도는 노광계가 가까운 패턴을 구별해 형성할 수 있는 정도이다.
설명
대표적인 관계식에서 형성 가능한 치수는 파장에 비례하고 개구수 에 반비례한다. NA는 빛을 모으는 광학계의 능력과 관련된 값이며 공정·조명·마스크 조건도 결과에 관여한다.
예시
짧은 파장이나 큰 는 미세 패턴에 유리할 수 있지만 여유와 재료·광학 조건도 함께 관리해야 한다. 관계식 하나로 모든 제품의 최소 치수를 확정하지 않는다.
구분
해상도 개선은 파장·광학계·재료·패턴 보정이 함께 만드는 결과이다.