오버레이
Overlay
층간 정렬 오차
오버레이는 서로 다른 공정에서 형성한 패턴층 사이의 상대적인 위치 일치 정도이다.
설명
윗층 구멍이 아랫층 접점과 겹쳐야 전류가 연결된다. 각 층의 선폭이 맞더라도 상대 위치가 어긋나면 접점이 일부만 닿거나 이웃 선에 가까워질 수 있다.
예시
구멍 지름은 규격 안인데 이 높다면 구멍의 위치와 아래 접점의 겹침도 확인한다. 크기 검사만 통과했다고 정렬까지 맞는 것은 아니다.
구분
선폭은 크기, 오버레이는 층 사이의 위치를 관리한다.