중첩 정렬 오차
Overlay
서로 다른 리소그래피 층의 이 목표 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 오차 지표.
설명
다층 회로에서 중첩 정렬 오차가 나쁘면 콘택트··가 서로 어긋나 전기적 고장이나 손실로 이어질 수 있다.
예시
첫 번째 금속 층 위에 두 번째 층을 한 뒤 두 사이 위치 차이를 중첩 정렬 오차로 측정한다. 관련 용어: / / 층
구분
정렬은 전 좌표를 맞추는 과정이고 중첩 정렬 오차는 결과 층 간 위치 오차다.
Overlay
서로 다른 리소그래피 층의 이 목표 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 오차 지표.
다층 회로에서 중첩 정렬 오차가 나쁘면 콘택트··가 서로 어긋나 전기적 고장이나 손실로 이어질 수 있다.
첫 번째 금속 층 위에 두 번째 층을 한 뒤 두 사이 위치 차이를 중첩 정렬 오차로 측정한다. 관련 용어: / / 층
정렬은 전 좌표를 맞추는 과정이고 중첩 정렬 오차는 결과 층 간 위치 오차다.